Lüfter-Filter-Module (FFU) sind jetzt bereits seit mehr als 30 Jahren ein fester Bestandteil von Reinheitslösungen in der Reinheitstechnik.
Ging es anfangs darum, flexibel und energieeffizient Reinraumlösungen zu schaffen, haben diese Lüfter-Filter-Module auch Einzug in die Minienvironmenttechnologie gehalten.
Anfangs nutzten die Minienvironments die von der Reinraumdecke abströmende Luft, um diese in die Einhausungen (Enclosure) an den Prozessort zu bringen. Diese Enclosure hatten die Aufgabe, neben der Luftführung auch Querkontaminationen seitens des Operators und benachbarter Prozesse zu verhindern. Die Einstellung der Strömungsverhältnisse konnte über die Gebäudeleittechnik realisiert werden. Jedoch nur, wenn in der Reinraumdecke FFUs eingebaut waren, die sich einzeln ansteuern ließen.
